廢氣來(lái)源：電子元件和光伏等制造時(shí)，切割液溶劑揮發(fā)、粘結(jié)過(guò)程膠水溶劑揮發(fā)、油墨、涂料等物料調(diào)配過(guò)程中溶劑揮發(fā)、燒結(jié)過(guò)程溶劑揮發(fā)、印刷過(guò)程漿料、油墨溶劑揮發(fā)、涂裝過(guò)程涂料溶劑揮發(fā)、清潔清洗溶劑揮發(fā)、注塑過(guò)程注塑廢氣等。光電顯示器件的陣列、彩膜、成盒、模組等生產(chǎn)工序產(chǎn)生的酸性、堿性、有機(jī)廢氣及含氟廢氣等；集成電路制造的摻雜、光刻、刻蝕和薄膜生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的酸性、堿性、砷烷、磷烷、有機(jī)廢氣；

廢氣組分：聚乙二醇、甲苯、二甲苯、松油醇、乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇、丁酮、醋酸乙酯、醋酸丁酯、酯類(lèi)、醇類(lèi)、甲醛、異丙醇、丙烯腈、苯乙烯、非甲烷總烴等。磷酸、乙酸、硝酸、鹽酸、氮氧化物、氟化物、硫酸、氯氣、氫氧化鉀、氨等；粉塵、NOx、NF3、C2F6、CF4、C3F8、CHF3、SF6等氟化物；苯、醇、烷烴、醚、酮、酯類(lèi)；硅烷、磷烷、砷烷等；

廢氣特點(diǎn)：風(fēng)量大、污染物濃度易波動(dòng)、成分復(fù)雜、部分有腐蝕性；

治理工藝：酸堿廢氣（濕式洗滌吸收）；高濃度有機(jī)廢氣（RTO/CO/RCO/TO）；低濃度有機(jī)廢氣（“預(yù)處理+沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮-RTO”、“預(yù)處理+固定床活性炭或分子篩沸石吸附濃縮-CO”、“吸收+光催化”、“吸收+吸附”、“吸附”等組合工藝；

排放限值：NMHC及其它指標(biāo)詳見(jiàn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》、《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》或各地地標(biāo)。

紫科裝備擁有應(yīng)用于該行業(yè)相關(guān)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)：21項(xiàng)

泛半導(dǎo)體項(xiàng)目展示

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